6890 Ｊ－フェローテック 2020-04-15 15:30:00
半導体シリコンウェーハ再生事業の設備投資の決定に関するお知らせ [pdf]
2020 年 4 月 15 日
各 位
会 社 名 株式会社フェローテックホールディングス
代 表 者 名 代表取締役社長 山 村 章
（ＪＡＳＤＡＱ・コード ６８９０）
問 合 わ せ 先 執行役員 IR 室長 佐 藤 昭 広
（ ０ ３ － ３ ２ ８ １ － ８ １ ８ ６ ）
半導体シリコンウェーハ再生事業の設備投資の決定に関するお知らせ
当社は、本日開催の取締役会において、下記の通り、中国における半導体シリコンウェーハ再生サービス事
業における設備投資について決議しましたので、以下の通りお知らせいたします。
記
１． 設備投資の決定に至る経緯および理由
当社は、2019 年 8 月 30 日付「中華人民共和国における半導体シリコンウェーハ再生事業の新会社設立に
関するお知らせ」にて公表しました通り、当社中国子会社の上海申和熱磁電子有限公司（以下、 「FTS」とい
います。）と中華人民共和国安徽省銅陵市政府（以下、「銅陵市政府」といいます。）との共同出資で、半
導体シリコンウェーハの再生サービス事業参入のための新会社、安徽富楽徳長江半導体材料股份有限公司
（以下、「FTASM」といいます）を、安徽省銅陵市に設立しました。その後、社内にて本事業に関する精査を
行ってきた結果、今般下記の理由から本設備投資（第一期）を行うことを決定しました。
＜投資決定に至った理由＞
中国における 300mm ポリッシュドウェーハ市場の成長と共に、再生ウェーハ需要は拡大基調にある一
方、300mm 半導体シリコンウェーハ再生事業者数はグローバルでも限られており、かつ米国、日本、
台湾などに集中していること。
当社のこれまで培った半導体ウェーハ研磨技術や精密部品再生洗浄技術が再生ウェーハ事業に転用
できること。
当社の半導体ウェーハ事業や精密部品再生洗浄事業の顧客と本再生ウェーハ事業の顧客が重複する
為、クロスセルによる既存事業とのシナジーが期待できること。
本再生ウェーハ事業のキー・プロセスである使用済ウェーハの被膜除去工程 ※において、技術の確立
の目途が立ったこと。
※
再生ウェーハの工程については、別添の「ウェーハ再生の一般的なプロセス」をご参照。
２．設備投資の概要
（１） 設 備 投 資 の 内 容 再生ウェーハ工場建屋、内装（クリーンルーム含む）、附属設備、専
用装置（研磨、洗浄、検査、測定各装置）
（２） 投 資 額 約 5 億人民元 ※設備投資及び一部運転資金を含みます。
（日本円換算：76.5 億円 ＊為替レート 人民元 = 15.3 円）
（３） 所 在 地 中国安徽省銅陵市金橋経済開発区内
（４） 敷 地 面 積 約 50,000 ㎡ ※工場延べ床面積は、約 40,000 ㎡
（５） 生 産 品 目 半導体シリコンウェーハ再生サービス
（６） 資 金 調 達 方 法 FTS、銅陵市政府系ファンドによる出資金にて調達の予定。
（７） 今 後の スケ ジュ ール 2019 年 9月 銅陵市政府との投資協定締結、FTASM 設立
2019 年 10 月 着工
2020 年 9月 竣工
12 月 設備搬入、据付、テスト
2021 年 1月 試作、顧客認証開始
4月 量産開始
- 第一期のラインとして、月産 65 千枚の再生ウェーハ(300mm)生産ライン
の体制を構築。
- その後、段階的に生産枚数を拡大し、最終的に月産 200 千枚の生産体制
を構築予定。
３．今後の見通し
当社の 2021 年 3 月期の連結業績に与える影響は軽微と見込んでおりますが、今後開示すべき事項が生じ
た場合には、速やかにお知らせいたします。
以 上
[ 別添 ]
＜当該子会社の概要＞
（１） 名 称 安徽富楽徳長江半導体材料股份有限公司（FTASM）
（２） 所 在 地 中国安徽省銅陵市金橋経済開発区内
（３） 代 表 者の 役職 ・ 氏名 董事長 賀 賢漢
（４） 事 業 内 容 半導体ウェーハの再生サービス
（５） 資 本 金 5 億人民元※（日本円換算：76.5 億円 ＊為替レート 人民元= 15.3 円）
（６） 設 立 年 月 日 2019 年 9 月
（７） 大 株 主 及 び ・上海申和熱磁電子有限公司（FTS） 3.5 億人民元 （70%）
持 ち 株 比 率 ※ （内、1 億人民元は現金出資、2.5 億人民元は 3 年以内の現物出資）
・銅陵発展投資集団有限公司（銅陵発投） 0.75 億人民元 （15%）
・銅陵市建設投資控股有限責任公司（銅陵建投）0.75 億人民元 （15%）
※
銅陵発投、銅陵建投は銅陵市が運営するファンドです。
（８） 上 場 会社 と当 該 会社 資 本 関 係 当社が 100%出資している上海申和熱磁電子有限公
と の 間 の 関 係 司、及び銅陵市政府の共同出資による孫会社とな
ります。
人 的 関 係 該当事項はありません
取 引 関 係 記載すべき取引関係はありません。
※
現状決定している最終的な資本金金額及び持ち株比率です。
＜ウェーハ再生の一般的なプロセス＞
1 受 入 検 査 ウェーハ受入れ、目視検査
↓
2 被 膜 除 去 薬液による付着膜の除去及び洗浄、乾燥処理
↓
3 脱 膜 検 査 目視検査による残膜やウェーハ表面キズ等をチェック後、研磨量設定
↓
4 一 次 研 磨 設定研磨量にて一次研磨
↓
5 中 間 検 査 厚さ、平坦度、反り、抵抗率を測定し、ウェーハ種類（P 型/N 型）を判定
↓
6 仕 上 研 磨 ウェーハを仕上げ研磨
↓
7 仕 上 洗 浄 パーティクル及び金属汚染を目的に多段の薬液洗浄・水洗い・乾燥
↓
8 最 終 検 査 目視検査、パーティクル検査、メタル分析
↓
9 包 装 製品ウェーハケースを梱包
↓
10 出 荷 検 査 全ての検査結果を確認し、検査成績書を発行（出荷許可）
↓
11 容 器 洗 浄 原料入荷容器を洗浄し、再利用して出荷
※
の工程が、本再生ウェーハ事業におけるキー・プロセスとなります。