4187 大有機化 2019-10-29 10:00:00

半導体関連材料の新規設備建設等に関するお知らせ（続報） [pdf]

                                           2019 年 10 月 29 日
 各    位
                          会 社 名     大阪有機化学工業株式会社
                          代 表 者    代表取締役社長      上林 泰二
                                  （コード番号：４１８７ 東証第一部）
                          問合せ先      取締役執行役員管理本部長
                                                 本田 宗一
                                     TEL 06-6264-5071（代表）


       半導体関連材料の新規設備建設等に関するお知らせ（続報）



 2018 年５月１日に「半導体関連材料の新規設備建設等に関するお知らせ」にて公表いたしまし
たとおり、当社は金沢工場（石川県白山市）に半導体レジスト用モノマーの新規設備を建設し、最
先端である ArF 用及び EUV 用モノマーの供給体制を整えましたのでお知らせいたします。


                         記


 半導体レジスト用モノマーの新規設備は、当社金沢工場において、2019 年 2 月に竣工し、6 月
からテスト生産を行っております。当社は、1996 年から ArF 用モノマーの開発を進めており、2014
年に出光興産株式会社からアダマンタン関連の事業譲渡を受けたことで、現在同分野ではトップ
シェアとなっております。近年、デバイスメーカーもシングルナノオーダーの超微細加工を本格稼
働させております。それに伴い EUV 用モノマーも試作段階から本格的な量産段階に移行してきて
おります。最先端レジスト用モノマーは金属不純物の混入を極限まで下げることが要求されており、
これら顧客の要求に応えるため、新規増設を行いました。
 新規設備は、総工費約２２億円、鉄骨造り 4 階建て、延べ床面積１０７８㎡であります。金属不純
物の混入を防止するため、当社としては初めてとなるテフロン製の反応、精製装置とクリーンルー
ムを導入し、設備、環境からの金属混入を極限まで下げることができます。今回の新規設備により、
従来の ArF 用モノマーの供給力は約 1.5 倍となり、最先端レジスト用モノマーのより厳しい品質に
対応し、供給面としてもトップシェアとしての地位を確立してまいります。




                                                       以上